本规范用词说明1 为便于在执行本规范条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1)表示很严格......

15 微振控制15．1 一般规定15．1．1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、......

14 噪声控制14．1 一般规定14．1．1 洁净厂房的噪声控制，应满足电子产品生产的要求，并应保持......

13 防静电与接地设计13．1 一般规定13．1．1 洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静......

12 电气设计12．1 配 电12．1．1 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求，应根据电子产品生产工艺......

11 化学品供应11．1 一般规定11．1．1 洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品生产工艺......

10 气体供应10．1 一般规定10．1．1 洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、......

9 纯水供应9．1 一般规定9．1．1 电子产品生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和产品生产工艺对......

8 给水排水设计8．1 一般规定8．1．1 洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，并宜......

7 空气净化和空调通风设计7．1 一般规定7．1．1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根......

6 洁净建筑设计6．1 一般规定6．1．1 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发展以及生产......

5 工艺设计5．1 一般规定5．1．1 洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺......

4 总体设计4．1 位置选择和总平面布置4．1．1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求经技术经济比较......

3 电子产品生产环境设计要求3．1 一般规定3．1．1 电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺......

2 术 语2．0．1 洁净室 clean room空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室......

1．0．1 为在电子工业无尘厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质......

中华人民共和国国家标准电子工业洁净厂房设计规范Code for design of electron......