6 洁净建筑设计6．1 一般规定6．1．1、6．1．2 随着科学技术的发展，电子产品生产发展很快，即......

7 空气净化和空调通风设计7．1 一般规定7．1．3 洁净厂房中净化空调系统的划分原则，本条推荐6种......

8 给水排水设计8．1 一般规定8．1．1 洁净厂房内的管道敷设方式会对洁净室的空气洁净度产生影响，......

9 纯水供应9．1 一般规定9．1．1 电子工业洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一。各种电子产品生......

10 气体供应10．1 一般规定10．1．1 洁净厂房使用的气体有常用气体、干燥压缩空气及特种气体三......

11 化学品供应11．1 一般规定11．1．1 电子工业洁净厂房常常需使用各种化学品，根据电子产品品......

12 电气设计12．1 配 电12．1．3 电子工业洁净厂房中的产品生产用主要工艺设备，一般都是电子......

13 防静电与接地设计13．1 一般规定电子工业洁净厂房中，根据电子产品生产工艺要求设防静电环境的场......

14 噪声控制14．1 一般规定14．1．1 电子工业洁净厂房内噪声控制的基本要求：一是应满足电子产......

影响洁净厂房内精密设备、仪器的微振控制设施不能达到微振动容许值的因素主要有：环境的干扰振动，洁净厂房......

本规范用词说明1 为便于在执行本规范条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1)表示很严格......

15 微振控制15．1 一般规定15．1．1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、......

14 噪声控制14．1 一般规定14．1．1 洁净厂房的噪声控制，应满足电子产品生产的要求，并应保持......

13 防静电与接地设计13．1 一般规定13．1．1 洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静......

12 电气设计12．1 配 电12．1．1 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求，应根据电子产品生产工艺......

11 化学品供应11．1 一般规定11．1．1 洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品生产工艺......

10 气体供应10．1 一般规定10．1．1 洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、......

9 纯水供应9．1 一般规定9．1．1 电子产品生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和产品生产工艺对......

8 给水排水设计8．1 一般规定8．1．1 洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，并宜......

7 空气净化和空调通风设计7．1 一般规定7．1．1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根......